【48812】华海清科(688120SH)：应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度丈量设备已发往多家客户验证完结小批量出货

  格隆汇4月30日丨华海清科(688120.SH)在投资者互动渠道表明，现在公司湿法设备包括整理洗刷设备及供液体系，其间整理洗刷设备已批量用于公司晶圆再生出产，2023年，首台12英寸单片终端清洗机HSC-F3400机台出机发往国内大硅片有突出贡献的公司进行验证；应用于12英寸集成电路FEOL/BEOL晶圆正反面及边际清洗的清洗机已完结安装；用于湿法工艺设备中研磨液、清洗液等化学品供给的SDS/CDS供液体系设备已取得批量收购。应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度丈量设备已发往多家客户验证，完结小批量出货，部分机台已经过检验。详细产品介绍请详见公司发表的2023年年度报告。 近年来，公司晶圆再生、要害耗材与维保等服务业务收入约占有经营收入的份额在10%左右。公司晶圆再出产能已达到10万片/月，在国内闻名大厂均已完结前期导入作业，取得多家大出产线批量订单并长时间安稳供货；随公司CMP设备保有量的不断攀升，耗材零部件、抛光头维保服务等业务量也会相应提高，要害耗材维保及技术服务将成为公司新的赢利增长点。