国内首台！开启国产半导体高端检测设备新时代

  近日，苏州高新区企业天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司实现国产半导体高端检测设备新突破，其面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检验测试设备TB1500完成厂内验证。

  缺陷检测设备作为保证芯片质量、降低生产所带来的成本，推进工艺迭代的重要工具，在芯片生产流程中不可或缺，拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检验测试设备受行业青睐。

  据悉，为满足40nm技术节点的工艺制程需求，TB1500提升了光源亮度和感度，增大了物镜视野和速度，能够捕捉更小缺陷尺寸；TB1500核心核心部件全部实现自主可控，同时使用先进的信号处理算法，有效提升信噪比和检测灵敏度。此次TB1500完成厂内验证，是中国半导体前道缺陷检验测试装备产业的又一次重大突破。

  苏州矽行半导体技术有限公司汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才，逐步打破KLA等外商对缺陷检测市场的垄断。公司另一款产品，面向28nm技术节点的TB2000设备进展顺利，各核心零部件均已完成开发，计划于2024年底发布样机。

  苏州天准科技股份有限公司成立于2005年，位于太湖科学城功能片区，专注于机器视觉技术的研发应用推广。公司是科创板首家工业视觉装备上市公司，国家高新技术企业，国家专精特新“小巨人”、国家重大科学仪器设施开发专项牵头承担单位、工信部智能制造系统解决方案供应商。公司建设有国家级企业技术中心、国家博士后科研工作站、省工程技术探讨研究中心、省研究生工作站。

  当前，太湖科学城功能片区正大力推动高端装备制造产业集群化发展。接下来，该片区将重点围绕人机一体化智能系统、大数据等主攻方向，以头部企业为主导，以院所平台为技术支撑，加快布局前沿技术、拓展场景赋能，打造千亿级数字与智能产业集群。（苏报融媒记者 刘晓平 顾玲 通讯员 轲晓渚）